鎢鋼壓頭尖端的形狀是影響納米壓痕儀精度最重要的因素之一，尤其是在壓痕深度很淺的測試中影響更大。對于有著幾何相似性的鎢鋼壓頭,理想形狀的鎢鋼壓頭和非理想形狀的鎢鋼壓頭在壓入深度很淺時(shí)，結(jié)果有很大的不同。

在同樣的壓入深度下，非理想形狀鎢鋼壓頭的實(shí)際接觸面積遠(yuǎn)大于按尺寸計(jì)算的理想鎢鋼壓頭的接觸面積，使得開始測量時(shí)有著較大摩擦力，使得材料抵抗變形能力增強(qiáng)。 

目前鎢鋼壓頭的種類較多，納米壓痕儀常用的是玻氏鎢鋼壓頭和楔形鎢鋼壓頭。理想玻氏鎢鋼壓頭為三棱錐形，但實(shí)際加工中很難做到鎢鋼壓頭錐面的三個(gè)面交于一點(diǎn)，往往在鎢鋼壓頭端部存在一定的曲率半徑。

另外,在實(shí)際使用過程中，由于鎢鋼壓頭被磨損，鎢鋼壓頭端部曲率也是變化的，這個(gè)變化會(huì)產(chǎn)生一系列的影響：1.壓痕深度在一定范圍內(nèi)時(shí),不同壓痕不具有幾何相似性，測試結(jié)果的重復(fù)性差，可比性也差；2.增加了鎢鋼壓頭在初始?jí)喝霑r(shí)鎢鋼壓頭與被測材料之間的摩擦，使得產(chǎn)生同樣壓入深度時(shí)的載荷增加，產(chǎn)生壓痕尺寸效應(yīng)現(xiàn)象；3.最小塑性壓入深度增加，即在產(chǎn)生相同壓痕深度的條件下，卸載后可能沒有殘余變形。

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